新兴的光电材料生产、加工、清洗;lcd液晶显示屏、pdp等离子显示屏、高品质灯管显像管、微电子工业、fpc/pcb线路板、电路板、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高,这也对超纯水处理工艺及产品的简易性、自动化程度、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求,目前工业部电子级水质技术标准将超纯水水质划分为五个等级(18mω.cm、15mω.cm、10mω.cm、2mω.cm、0.5mω.cm五级标准),电阻率大于10mω.cm的水一般被称作超纯水,小于则叫做纯水。
一般情况下工业超纯水制备有以下几种常规设计方式:
1、原水箱→原水增压泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软水器→保安过滤器→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象 (≥18mω.cm)(传统工艺)
2、原水箱→原水增压泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软水器→保安过滤器→反渗透→中间水箱→水泵→edi装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18mω.cm)(最新工艺)
3、原水箱→原水增压泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软水器→保安过滤器→一级反渗透→加药机(ph调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→edi装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17mω.cm)(最新工艺)
4、原水箱→原水增压泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软水器→保安过滤器→反渗透系统→中间水箱→水泵→edi装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥15mω.cm)(最新工艺)
5、原水箱→原水增压泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软水器→保安过滤器→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象 (≥15mω.cm)(传统工艺)
6、原水箱→原水增压泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软水器→保安过滤器→反渗透系统→纯水箱→混床增压泵→超纯水箱→10mω.cm用水点